在真空鍍膜設(shè)備真空裝置自動(dòng)控制中，往往要進(jìn)行真空測(cè)量，由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同，因此，從105Pa—10-5Pa各真空區(qū)域的真空測(cè)量塢會(huì)遇到。通常使用的真空計(jì)有電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)、電容薄膜真空計(jì)、電離真空計(jì)、超高真空計(jì)等。為了拓展真空計(jì)的功能，真空儀器廠家還生產(chǎn)包括遙控遙測(cè)、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調(diào)節(jié)等功能模塊板供用戶選配。

       因此，一個(gè)配置齊全的真空計(jì)，不僅能進(jìn)行真空度測(cè)量、數(shù)字顯示、量程自動(dòng)切換、誤差自動(dòng)修正，而且能在壓力設(shè)定點(diǎn)發(fā)出控制信號(hào)去進(jìn)行壓力控制，按設(shè)定壓力值進(jìn)行壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)，還能將測(cè)量值打印記錄，并與上位機(jī)進(jìn)行通信聯(lián)系，甚至還能進(jìn)行遠(yuǎn)距離真空測(cè)量與控制。
1、壓力控制儀
在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)中，往往希望真空裝置的真空室中的真空度能按真空工藝的要求，維持在某一給定值上。這種要求通常可以通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)真空微調(diào)閥來(lái)完成，倘若希望自動(dòng)地完成壓力調(diào)節(jié)，就要借助于壓力控制儀來(lái)完成。
壓力控制儀通常由真空測(cè)量單元（真空計(jì)）、壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)電路和真空調(diào)節(jié)閥組成，它是集真空測(cè)量與壓力調(diào)節(jié)于一體的自動(dòng)控制儀器。國(guó)產(chǎn)壓力控制儀主要有HY、ZDC、SYK、DL、ZZK等系列產(chǎn)品。
       表征壓力控制儀的主要技術(shù)指標(biāo)是壓力控制范圍、控制精度、流量控制范圍、反應(yīng)時(shí)間等。它取決于其配用的真空規(guī)管、控制電路及真空調(diào)節(jié)閥的性能。壓力控制儀廣泛應(yīng)用于離子注入、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術(shù)及半導(dǎo)體材料等領(lǐng)域，其使用的環(huán)境條件與同類型的真空計(jì)大致相同。
      （1）結(jié)構(gòu)與工作原理
       壓力控制儀通常是由壓力給定單元、真空測(cè)量單元（真空計(jì)）、壓力調(diào)節(jié)單元、驅(qū)動(dòng)電路及真空調(diào)節(jié)閥等基本單元組成。它具有手動(dòng)和自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)功能。對(duì)于采用分立元件的壓力控制儀，其給定單元通常是一個(gè)電位器，而壓力調(diào)節(jié)單元通常是具有比例積分（ PI）或比例積分微分（PID）運(yùn)算功能的運(yùn)算電路；對(duì)于微機(jī)化的壓力控制儀，其給定單元通常是通過(guò)鍵盤(pán)或碼盤(pán)進(jìn)行壓力設(shè)定；而壓力調(diào)節(jié)單元和測(cè)量單元合為一體，為一單片機(jī)系統(tǒng)，其壓力調(diào)節(jié)功能是利用單片機(jī)系統(tǒng)，通過(guò)數(shù)字PID運(yùn)算，實(shí)現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)。至于驅(qū)動(dòng)電路及真空調(diào)節(jié)閥，同類型的兩種不同電路結(jié)構(gòu)的壓力拄制儀大致相同。
       壓力控制儀可在手動(dòng)和自動(dòng)兩種工況下運(yùn)行。當(dāng)開(kāi)關(guān)S打到手動(dòng)位置時(shí)，壓力控制儀相當(dāng)于一個(gè)手動(dòng)微調(diào)真空閥，進(jìn)行手動(dòng)壓力調(diào)節(jié)；當(dāng)開(kāi)關(guān)S打到自動(dòng)位置時(shí)，壓力控制儀構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)的自動(dòng)控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)壓力定值自動(dòng)調(diào)節(jié)其調(diào)節(jié)過(guò)程是：首先由給定單元設(shè)定希望控制的壓力值，根據(jù)具體的被控對(duì)象的特性，選擇好PID調(diào)節(jié)單元的比例度艿、積分時(shí)間Ti、微分時(shí)間Td等參數(shù)，當(dāng)真空測(cè)量單元輸出一個(gè)表征被控真空裝置真空室壓力高低的電壓信號(hào)時(shí)，壓力節(jié)單元可將壓力設(shè)定值與壓力測(cè)量值進(jìn)行比較，并將差值進(jìn)行運(yùn)算（例如P、PI、PID）；然后通過(guò)驅(qū)動(dòng)電路，驅(qū)動(dòng)真空調(diào)節(jié)閥，改變進(jìn)入真空室的氣體流量，從而使真空室內(nèi)的壓力維持在給定值上。當(dāng)然，這是理想的控制狀態(tài)，實(shí)際上，由于壓力控制儀的壓力調(diào)節(jié)單元的特性所致，被控壓力只能是趨近于給定壓力值，并與給定壓力值保持允許的偏差范圍內(nèi)。這個(gè)偏差值的大小，即表示壓力控制儀壓力控制精度的高低。
      （2）真空氣體流量調(diào)節(jié)元件
       從原理上講，一般手動(dòng)真空調(diào)節(jié)閥，配上適當(dāng)?shù)目刂齐姍C(jī)（如伺服電機(jī)、步進(jìn)電機(jī)等）或液壓缸，通過(guò)調(diào)節(jié)控制電機(jī)或液壓缸的控制信號(hào)，使控制電機(jī)或液壓缸動(dòng)作，從而改變真空閥的流導(dǎo)，于是改變了流過(guò)真空閥的氣體流量，完成在真空裝置中真空室的真空度的自動(dòng)調(diào)節(jié)。但是，目茼我國(guó)真空儀器廠家生產(chǎn)的真空氣體流量調(diào)節(jié)閥僅有電磁調(diào)節(jié)式、質(zhì)量流量計(jì)式及壓電式三種，而國(guó)產(chǎn)壓力控制儀多選用壓電閥作為真空氣體流量調(diào)節(jié)元件。
       壓電閥是利用壓電效應(yīng)制成的一種真空氣體流量調(diào)節(jié)閥。壓電閥的核心部件是由壓電陶瓷制成的具有壓電特性的膜片。當(dāng)在壓電陶瓷膜片上施加一控制電壓時(shí)，它將會(huì)產(chǎn)生正比于外加電壓值大小的變形。同時(shí)，帶動(dòng)密封墊移動(dòng)。于是壓電閥流導(dǎo)產(chǎn)生變化，從而改變氣體通過(guò)壓電閥的流量。當(dāng)壓電陶瓷膜片上未施加控制電壓時(shí)，由于彈簧的機(jī)械力作用在壓電陶瓷膜片和密封墊上，使壓電閥氣路關(guān)閉。因而，可以通過(guò)改變施加在壓電陶瓷膜片上的控制電壓的大小，來(lái)改變壓電閥的流導(dǎo)，從而改變流過(guò)壓電閥的氣體流量。于是，可實(shí)現(xiàn)真空裝置的真空室中的真空度調(diào)節(jié)。