• 油脂

  加工、安裝和操作時(shí)沾染的潤(rùn)滑劑、真空油脂等。

  
  

• 水滴

  操作時(shí)的手汗，吹玻璃時(shí)的唾液等。

• 表面氧化物

  易氧化材料長(zhǎng)期基露或放置在潮濕大氣中所形成的表面氧化物。

• 酸、堿、鹽類物質(zhì)

  清洗后的殘余物質(zhì)、手汗、自來(lái)水中的礦物質(zhì)等。

• 空氣中的塵埃及其它有機(jī)物

• 
  

溶劑清洗是真空系統(tǒng)清洗中最為普遍的一種方法。常見(jiàn)的清洗溶劑包括有機(jī)溶劑、含洗滌劑的水、稀酸、堿、石油分餾物、各種金屬清洗劑等等。根據(jù)污染物的不同，需要用不同的溶劑進(jìn)行清洗。如礦物油脂需要用有機(jī)溶劑，銹蝕物需要用酸性金屬清洗劑等。

超聲波清洗是利用超聲空隙作用來(lái)清洗目標(biāo)，可以實(shí)現(xiàn)很強(qiáng)的物理清洗作用，清除較強(qiáng)粘附污染物。超聲波清洗可以進(jìn)入復(fù)雜的異形孔道，是很多清洗方法無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。超聲波清洗在應(yīng)用中，需要根據(jù)污染物的不同，配合各類清洗溶劑。

蒸汽脫脂清洗適用于對(duì)表面油脂膜和類脂膜的清洗，操作方法簡(jiǎn)單，可以實(shí)現(xiàn)大批量清洗。一些帶有牢固附著物或污染較為嚴(yán)重的基片在擦洗或超聲波清洗后，用蒸汽脫脂清洗可以實(shí)現(xiàn)很好的清洗效果，常用于玻璃物件清洗的最后一步。

電解侵蝕清洗類似于電解拋光，是指在溶劑中利用電解作用，清除金屬部件表面上的薄銹或氧化膜等污染物，主要用于化學(xué)穩(wěn)定性較高的合金部件，如不銹鋼，耐熱鋼，鎳基合金等。

加熱清洗主要是將部件置于常壓或真空中加熱，使其表面上的易揮發(fā)污染物揮發(fā)來(lái)達(dá)到清洗的目的。輻照清洗則是通過(guò)紫外輻照來(lái)分解部件表面上的碳?xì)浠衔铩?/p>

放電清洗一般用于高真空、超高真空系統(tǒng)清洗中。利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳?xì)浠衔锏娜コ７烹娗逑吹男ЧQ于電機(jī)材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系。

氮?dú)馇逑粗饕抢昧说獨(dú)庠诓牧媳砻娴奈綗嵝?、吸留時(shí)間短，容易被抽走的特性，用氮?dú)鉀_洗被污染的真空系統(tǒng)，同時(shí)擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間，縮短真空系統(tǒng)的抽氣時(shí)間。

良好的真空環(huán)境對(duì)真空裝置本身及真空工藝都會(huì)有好的影響，我們都應(yīng)該引起重視。